江苏有为光子科技有限公司
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备注:上述技术指标如有更新,恕不另行通知。用户如有特殊要求,可专门设计定制。另可定制126 nm光源。

 


172nm准分子紫外灯   

准分子光源特点:

 单色性好,紫外输出能量集中,紫外输出强度高,可达100mW/cm2

□ 非相干光有利于大面积加工;

 无传统光源固有的电极腐蚀现象,使用寿命极大加长;

 可随时瞬间开启熄灭,无需预热,无需快门,开关次数不影响使用寿命;

 开启和运行不受周围环境温度影响;

 冷光源,不产生红外输出,对被处理对象无明显加热效应;

 绿色环保。制造无需用汞,无二次污染和废旧回收处理问题。 


172 nm波长准分子灯应用领域:

波长为172nm的准分子真空紫外光子能量高达7.2 eV,足以打开大多数分子键,能实现传统低压汞灯很难或根本不能实现的光化学反应,可广泛应用于:

 表面清洗。可用于晶圆和平板显示器制造的清洗过程,清洗掩摸,去除光刻胶;

□ 表面刻蚀和改性(如聚酰亚胺,氟材料等);

□ 低温光化学气相沉积(Photo-CVD)。如电子薄膜Ta2O5和HfO2等;

 光氧化、光退火。如对电子薄膜SiO2进行处理以改善其化学计量性;

 室温下光催化金属化。如在塑料表面镀金属电极;

□ 表面活化,以增加表面张力和湿润性;

 有机降解。除总有机碳(TOC)制取超纯水,分解农药残留,印染废水的光化学脱色;

 高纯臭氧发生。

172nm准分子灯光谱图